气相堆积炉(CVI/CVD堆积炉)
概述:
本炉是在负压系统气味中,以C/C软型数据姿料气相色谱仪低密度化外理为制定目标,途经步骤电阻值热处理器做到流程的温度,使累积气味裂解,然而累积到数据姿料看上去上组成低密度、可以高的软型数据姿料的负压系统配备。机能特色:
1.沿途时PID缓解体例提交炉内水温的*规范; 2.自力的系统盘热处理规范,既能服务电绝缘不要搅碎,又快速热处理器的返修改换; 3.接受传统进气口的高压气仗量的装备,可小于合理的放到炉内的氛围对仗量精确的会影响; 4.水、气、电整体问题声光報警器報警裝配,维护风险管理体系日常运转准确、安静;首要手艺参数:
参数指标 | CVI | CVD |
*构想测量工作温度 | 1200℃ | 1500℃ |
三天两头选用责任水温 | 1050℃ | 1200℃ |
满额定功率升温快同时 | ~1000℃≤ 3h | RT~1000℃≤5h |
温均性(1000℃时) | ≤±10℃ | ≤±10℃ |
冷态空炉极限点真空环境度 | ≤10Pa | ≤10Pa |
压升率 | ≤5Pa/h | ≤5Pa/h |
控温精确 | ≤±1℃ | ≤±1℃ |
能源系统主机电源 | 3Φ380 V 50 Hz 850 KVA | 3Φ380V 50Hz 1000KVA |
工作任务24v电源 | Umax=40 V Imax=25000 A | Umax=7~70v |